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ImageMaster®
PRO 5 |
ImageMaster®
PRO 5 Wafer |
ImageMaster®
SMART PRO 5 |
| Optischer Aufbau |
Unendliche/endliche
Entfernung |
Unendliche/endliche
Entfernung |
Unendliche/endliche
Entfernung |
| Ortsfrequenz |
0 ... 300 lp/mm |
0 ... 300 lp/mm |
0 ... 200 lp/mm |
Messgenauigkeit
MTF axial |
2% MTF |
2% MTF |
3% MTF |
Messgenauigkeit
MTF außeraxial |
3% MTF
|
3% MTF |
5% MTF |
Messgenauigkeit
Brennweite |
5µm |
5µm |
5µm |
Messgenauigkeit
Brennweite |
8µm |
4µm |
8µm |
| Minimale Messzeit |
1,2 Sec |
1 Sec |
5 Sec |
| Durschschnittliche Messzeit |
2,8 Sec |
2,1 Sec |
8 Sec |
Abmessungen
Höhe x Breite x Tiefe
|
1350 x 1330 x 660 mm |
1350 x 1330 x 660 mm |
1230 x 730 x 600 mm |
| Gewicht |
180 Kg |
190 Kg |
130 Kg |
| Prüflingshalter |
Tray mit mehreren Prüflingssitzen (3 Qualitätsversionen) |
Wafer tray |
Einzelsitz |
Luftreinheitsklasse
FS 209
ISO14644-1 |
100
ISO 5
|
100
ISO 5
|
10 000
ISO 7
|
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